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半导体车间酸碱性、有机废气治理厂家
时间:2020-03-16 点击次数:214

电子工业半导体行业废气不仅污染环境,而且会对人直接造成危害,所以需要经过治理之后才能排放。我们针对半导体行业而研发出的一整套废气治理方案,操作性强,操作简单,效果达标。 可处理以下四种废气:酸性废气、碱性废气、有机废气和有毒废气。由于半导体行业有4种不同的废气,不同的废气种类适合不同的净化方案。

1、半导体行业酸性/碱性废气废气治理,推荐使用喷淋塔

对半导体制造中产生的酸性和碱性废气采用分别收集、分别处理的方法,但处理设备和处理原理基本相同。

对于含有 酸性/碱性物质的废气,大都采用大型洗涤式中央废气处理系统进行处理。但是,有些情况下,由于半导体制造工作区域离中央废气处理系统距离较远,因此部分酸性/碱性废气在输送至中央废气处理系统前,常因气体特性导致在管路中结晶或粉尘堆积,造成管路堵塞后导致气体外泄,严重者甚至引发爆炸,危害现场工作人员的工作安全。

因此,在工作区域需配置适合制程气体特性的就地废气处理设备进行就地处理,之后再排入中央处理系统,而一些特殊的废气,包括剧毒、自燃、易爆等废气则需要先通过干式洗涤塔等设备通过吸附或氧化/燃烧等方法就地处理,之后再排人中央废气处理系统 。

2、半导体行业有机废气和毒性气体治理

现在,国内治理有机废气和毒性气体的技术是差不多的,因此,对于,这两种废气治理技术我们合并讨论。

现在,半导体制造过程中排放的含有有机成分的废气(voc)通常采用直接焚烧、活性炭吸附、生物氧化等方法进行处理。但这3种方法都有一定的弊端:

  • 低浓度大风量的有机废气直接焚烧会造成大量的燃料消耗和不必要的污染,只有较高浓度的有机废气才建议直接焚烧,半导体制造的有机废气排放特点就是浓度低、风量大,因此必须考虑将有机废气浓缩后再进行焚烧处理。
  • 活性碳吸附的方法,由于其材料特性,存在易燃烧、水分敏感度高、脱附后残留负荷高等缺点,在半导体行业基本不再使用。
  • 生物氧化技术作为一种较新的处理技术,还有待在处理大风量方面做进一步的研究和发展。

低温等离子废气处理技术的净化原理是:

将普通的220V/380V交流电通过变压器,变频器转换为高频高压的电压,产生足以击穿气体的电压,释放出高能电子,高能电子破坏有机废气中的气体分子之间的化学键,断开这些化学键从而产生了各种碳原子、氧原子、氢原子、氢氧自由基、臭氧等混合体,等离子体中的氧原子和碳原子结合形成二氧化碳,氧原子和氢原子结合形成水分子,产生排放到大气中的气体为无污染的二氧化碳(CO2)和水(H2O)。

低温等离子废气处理技术具有以下优点:

  • 放电产生的低温等离子体中,电子能量高,几乎可以和所有的恶臭气体分子作用。
  • 反应快,不受气速限制。
  • 采用防腐蚀材料。
  • 只需用电,操作极为简单。
  • 设备启动、停止十分迅速,随用随开,常温常压下即能使用。
  • 气阻小,适用于大风量的废气处理。

低温等离子废气处理技术可治理以下半导体企业生产过程中产生的废气:

  • 集成电路生产企业:主要包括数字集成电路板及模拟集成电路板生产企业。
  • 分立器件生产企业:主要包括晶体二极管、三极管,整流二极管,功率二极管、化合物二极管等生产制造企业。
  • 光电组件生产企业:包括LED、OLED、LCD、光伏太阳能等的生产制造企业。

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